雷達(dá)隱身薄膜材料
導(dǎo)彈、飛機(jī)等武器的雷達(dá)目標(biāo)特征控制一直是隱身技術(shù)研究的重點，由于傳統(tǒng)的雷達(dá)吸波材料不能用于觀通器件，降低導(dǎo)彈制導(dǎo)艙、飛機(jī)觀察窗的雷達(dá)散射截面（RCS）是實現(xiàn)其雷達(dá)隱身的關(guān)鍵內(nèi)容。雷達(dá)隱身薄膜材料兼具結(jié)構(gòu)和材料設(shè)計的雙重優(yōu)勢，具有優(yōu)異的濾波特性，與傳統(tǒng)的吸波材料相比，又具有“厚度薄、質(zhì)量輕、帶寬寬”等優(yōu)點，是導(dǎo)彈、飛機(jī)上觀通器件雷達(dá)隱身的首選材料。
針對不同的制導(dǎo)頻段，雷達(dá)隱身薄膜材料又可分為三種：用于電視末制導(dǎo)艙雷達(dá)隱身的銦錫氧化物（ITO）薄膜、用于紅外末制導(dǎo)艙雷達(dá)隱身的感性網(wǎng)柵薄膜和用于雷達(dá)末制導(dǎo)艙帶外雷達(dá)隱身的頻率選擇表面（FSS）。雷達(dá)隱身薄膜材料的設(shè)計涉及光學(xué)、電磁學(xué)和材料學(xué)三大領(lǐng)域。而在制作上，ITO膜為連續(xù)薄膜，采用合適的鍍膜工藝設(shè)備和手段即可實現(xiàn)；感性網(wǎng)柵膜是一種非連續(xù)薄膜，其性能與結(jié)構(gòu)和材料相關(guān)，且線寬越窄、性能越好，因此，制作感性網(wǎng)柵膜將涉及光刻與鍍膜兩大領(lǐng)域；FSS不僅結(jié)構(gòu)上不連續(xù)，而且對材料的厚度、介電參數(shù)、結(jié)構(gòu)尺寸、單元排列方式等相當(dāng)敏感，因此，制作FSS的工藝手段需結(jié)合光刻、鍍膜和層合等三種工藝技術(shù)。